• 团队拥有国际领先的研发和生产技术工艺,自主研发出从压电薄膜材料到芯片器件(含MEMS)、部件模块及测量测试系统、整机系统等一系列产品。广泛应用在航空航天,通讯,水声,超声,动态力,微驱动,精密测量,红外探测,军工电子部件等高精技术领域;突破“卡脖子”,自主可控,全面替代进口产品

     

    • 目前开发的压电薄膜材料产品主要有硅基(硬质)锆钛酸铅(PZT)压电薄膜和柔性PZT压电薄膜两大类:

    1)其中硅基PZT压电薄膜材料主要用于微电子器件的加工,适合与传统的硅器件搭配形成集成器件,比如MEMS器件;

    2)柔性PZT 压电薄膜因为具有可弯曲的特点,适合应用于具有非平坦特征的物体表面;柔性PZT压电薄膜材料小、轻、柔, 不增加被测对象载荷,可以共形设计,非平整表面亦能贴合,此外柔性PZT耐高温、耐潮湿、耐腐蚀、抗太阳辐照,因此广泛用于高精尖测试测量领域,尤其是微测量、微控制领域!

    3)基于柔性PZT高介电常数,低声波速度,高耦合系数(无需耦合剂),纵向及横向压电系数高,环境温度稳定性好等特点,应用空间广阔!

    i)例如微振动测量,微超声测量,微缺陷测量,微驱动,微振镜,细微脉搏测量,精密机床刀具监测等微测量领域;

    ii)例如小型化散热设计,高精流量计量,高精涂布模头,三维防伪,声学跟踪,隐身材料等;

    iii)例如解决非平坦物体表面的高精度测量:共形设计,大面积实时在线监测,复合材料嵌入式监测,可穿戴式监测等;用于飞机翼展,航天器,飞行器,船舶壳体、艇体,风电叶片,大型罐体、管道,传动轴,大型曲面构件等的监测,及时发现缺陷,避免灾难性事故!

    iv)例如用于医疗超声领域:柔性PZT压电薄膜在医疗超声领域的应用

    4)当压电技术,尤其是柔性压电材料与电磁波、声波、光波相结合时,会大放异彩,比如利用超材料、超表面、频率选择表面制作电磁波隐身材料(吸波材料 )、声学隐身材料(消声材料),压电光子器件等;

     

     

柔性压电薄膜材料

PZT压电薄膜:硅基和柔性压电薄膜材料